Tämä instrumentti käyttää kosketuksetonta, optista vaiheensiirtoa interferometristä mittausmenetelmää, ei vahingoita työkappaleen pintaa mittauksen aikana, voi nopeasti mitata eri työkappaleiden pinnan mikrotopografian kolmiulotteisen grafiikan sekä analysoida ja laskea mittauksen tuloksia.
Tuotteen kuvaus
Ominaisuudet: Soveltuu erilaisten mittaripalojen ja optisten osien pinnan karheuden mittaamiseen; viivaimen ja kellotaulun ristikon syvyys; hilaurarakenteen pinnoitteen paksuus ja pinnoiterajan rakenteen morfologia; magneettisen (optisen) levyn ja magneettipään pinta Rakenteen mittaus; piikiekon pinnan karheuden ja kuviorakenteen mittaus jne.
Laitteen korkean mittaustarkkuuden ansiosta sillä on kosketuksettoman ja kolmiulotteisen mittauksen ominaisuudet, ja se hyväksyy tietokoneohjauksen sekä mittaustulosten nopean analyysin ja laskennan. Tämä instrumentti soveltuu kaikentasoisiin testaus- ja mittaustutkimusyksiköihin, teollisuus- ja kaivosyritysten mittaushuoneisiin, tarkkuuskäsittelytyöpajoihin ja sopii myös korkeakouluille ja tieteellisille tutkimuslaitoksille jne.
Tärkeimmät tekniset parametrit
Pinnan mikroskooppisen epätasaisuuksien syvyyden mittausalue
Jatkuvalla pinnalla, kun korkeuden äkillinen muutos ei ole suurempi kuin 1/4 aallonpituudesta kahden vierekkäisen pikselin välillä: 1000-1nm
Kun korkeusmutaatio on suurempi kuin 1/4 aallonpituudesta kahden vierekkäisen pikselin välillä: 130-1 nm
Mittauksen toistettavuus: δRa ≤0,5nm
Objektiivin suurennus: 40X
Numeerinen aukko: Φ 65
Työetäisyys: 0,5 mm
Laitteen näkökenttä Visuaalinen: Φ0,25mm
Valokuva: 0,13 × 0,13 mm
Laitteen suurennus Visuaalinen: 500×
Valokuva (havaittu tietokoneen näytöltä) -2500×
Vastaanottimen mittausryhmä: 1000X1000
Pikselin koko: 5,2 × 5,2 µm
Mittausaika näytteenotto (skannaus) aika: 1S
Laitteen vakiopeilin heijastuskyky (korkea): ~50 %
Heijastus (matala): ~4 %
Valonlähde: hehkulamppu 6V 5W
Vihreän häiriösuodattimen aallonpituus: λ≒530nm
Puolileveys λ≒10nm
Päämikroskoopin nostokorkeus: 110 mm
Pöydän nostokorkeus: 5 mm
Liikealue X- ja Y-suunnassa: ~10 mm
Työpöydän kiertoalue: 360°
Työpöydän kallistusalue: ±6°
Tietokonejärjestelmä: P4, 2,8 Gt tai enemmän, 17 tuuman litteänäyttö 1G tai enemmän muistia